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SK머티리얼즈, 초고순도 '불화수소 가스' 국내 기술 생산...국산화 성공
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SK머티리얼즈, 초고순도 '불화수소 가스' 국내 기술 생산...국산화 성공
  • 박주현 기자
  • 승인 2020.06.17 10:06
  • 댓글 0
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하드마스크·불화아르곤 포토레지스트 개발도 나서
SK그룹, 고순도 가스 정제 기술 노하우 공유 예정
SK머티리얼즈 홈페이지 갈무리

국내 기술로 초고순도 불화수소 가스 양산을 시작해 소재 국산화에 성공했다. 

SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 이후, 경북 영주 공장 내 15톤 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해 왔다. 

이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올리겠다고 밝혔다. 

초고순도(순도 99.999%) 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로 반도체 공정 미세화로 수요가 급증하고 있지만 해외 의존도가 100%에 달한다. 

SK머티리얼즈는 불화수소와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화작업이 본격화해 최근 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다고 밝혔다.

반도체 웨이퍼 위에 포토레지스트(감광액)을 바르고 노광 장비로 빛을 쏘면 빛의 노출에 반응해 화학적 성질이 변하면서 회로 패턴이 새겨지는데, SOC는 포토레지스트 보조재로 패턴이 무너지지 않게 보호해 주는 소재이며, ArF PR 제품 또한 초미세 패턴 형성에 쓰이는 대표적 고부가 제품이라고 한다. 

ArF PR은 해외의존도가 90%에 달해 제품 양산이 본격화되면 국내 반도체 제조사들에 안정적인 소재 공급이 가능해질 것으로 기대되고 있다. 

SK머티리얼즈는 2021년 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만 갤런 규모의 포토레지스트 생산을 목표로 하고 있다고 밝혔다. 

반도체 디스플레이용 특수가스 전문 기업 SK머티리얼즈가 경북 영주시 본사에 통합분석센터를 구축하고 반도체 소재 연구개발 역량을 강화한다고 28일 밝혔다/SK머티리얼즈

SK머티리얼즈는 지난해 11월 경북 영주 본사에 R&D 시설인 ‘통합분석센터’를 설립하고, 한국표준과학원 등 연구기관들과 함께 중소기업들에 분석 서비스를 제공하기 위한 준비작업에 돌입했다.

SK그룹은 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업 상생 협력으로 연결해 국내 반도체 생태계 강화에 나선다는 계획이다. SK하이닉스는 총 4000억 원 규모의 상생펀드를 조성해 협력사들에 저금리 융자를 제공하고 있다.

SK그룹 내 소재사들은 중소 협력사들이 고부가의 고순도 가스를 정제하는 과정에서 필요로 하는 기술 및 노하우를 공유할 예정이다.

SK머리티리얼즈 영주 본사 

앞서 일본은 지난해 7월 TV·스마트폰의 OLED 디스플레이에 쓰이는 플루오린 폴리이미드, 반도체 공정용 레지스트와 에칭가스(고순도 불화수소. 불산) 등 총 3개 품목에 대한 한국 수출을 절차를 강화하며 국내 반도체·디스플레이 업계는 비상이 걸렸다.

3개 품목의 경우 대일 의존도가 높아 대체가 쉽지 않아 물량 확보가 어려워질 경우 생산 차질을 빚을 가능성도 배제할 수 없었다.

업계 관계자는 "일본 규제 초기 대체 공급처를 찾으며 큰 불은 막았고, 불과 1년도 안되는 짧은 기간이지만 소재 국산화와 우회수입 등을 통해 소기의 성과를 거두고 있다"면서도 "우리 기업의 기초 체력이 좋아지면서 일본 정부의 규제 영향력이 크지 않았지만 보다 한일 무역 문제에 있어 근본적인 해결책이 나와야할 시점"이라고 말했다.


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